・接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、

     耐薬品性･耐久性に優れています。

・フラット形状のバルブを採用し、

    ボディーとの接触によるパーティクル発生を

    低減しました。

・フラット形状のバルブを使用しながら、

　高分解能な流量調整が可能です。（特許取得済み）