フラットシリーズ

FEVシリーズ

FGRシリーズ


・接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、

     耐薬品性・耐久性に優れています。

・フラット形状のバルブを採用し、

    ボディーとの接触によるパーティクル発生を

    低減しました。

・フラット形状のバルブを使用しながら、

 高分解能な流量調整が可能です。(特許取得済み)

 

・フラット形状のバルブを採用し、ボディーとの接触に  

 よるパーティクル発生を低減しました。

・バルブ/ボディーの接触を制限してパーティクル発生  

 を低減するスローリーク機能を有しています。

 (特許取得済み)

・エアオペレート操作タイプです。