フラットシリーズ

FEVシリーズ

FGRシリーズ


・接液部は耐食性を持つフッ素樹脂を採用し、

    耐薬品性・耐久性に優れています。

 

・フラット形状のバルブを採用し、

    ボディーとの接触によるパーティクル発生を

    低減しました。

 

・フラット形状のバルブを使用しながら、

    高分解能な流量調整が可能です。(特許取得済み)

 

 

・フラット形状のバルブを採用し、ボディーとの接触に  

    よるパーティクル発生を低減しました。

 

・バルブ/ボディーの接触を制限してパーティクル発生  

 を低減するスローリーク機能を有しています。

  (特許取得済み)

 

・エアオペレート操作タイプです。

 


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フラットシリーズ(日本語)総合カタログ
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