レギュレーター

フッ素樹脂製の定圧・減圧制御弁です。

エアオペレートタイプ

GSCRシリーズ

  • 圧損を軽減した小型減圧制御弁
  • 優れた定圧制御性・安定性

GACRシリーズ

  • 半導体業界最小クラスの定圧制御弁
  • 高温(180℃)対応製品あり

GCRMシリーズ

  • 純水ラインの大流量対応定圧制御弁
  • 3/4"サイズ・1"サイズ

マニュアルタイプ

PMRシリーズ

  • 圧損を軽減した小型減圧制御弁
  • 優れた定圧制御性・安定性

FCRMシリーズ

  • 純水ラインの大流量対応定圧制御弁
  • 3/4"サイズ・1"サイズ

MCRシリーズ

  • 純水・薬液用の小型減圧制御弁

オリフィス

OFシリーズ

  • 外付けオリフィス